半導体製造装置用

長時間連続運転を可能とする信頼性重視の設計製造品

過酷な環境でも安定稼働する信頼性と
メンテナンス性に優れたスイッチング電源

半導体製造の分野では、機器の高性能化や環境負荷への低減の要求に合わせて、これらの装置に組み込まれる電源にも、高効率・高性能・高電力密度の製品が必要とされています。

半導体製造時の過酷な条件(高温多湿・多塵埃・ノイズ及び負荷急変等)でも、長時間連続運転を可能とする高信頼性重視の設計製造品です。
またプラグイン構造の採用でメンテナンス性にも配慮しています。


実績一例[本品はODM品です]
入力仕様 AC200V±10% 3φ
出力仕様 DC+1.5kV 0.2A
DC-300V 0.2A
DC+12V 20A
DC+40V 10A
DC+15V 12A
使用範囲 0℃~+40℃
寸法(mm) W480×D350×H200